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Experiencia en el control de equipos y procesos de semiconductores de manera más eficiente

    semiconductor

    Las últimas mejoras de control de temperatura en el controlador de potencia EPack con comunicación EtherCAT y la precisión de entrada del controlador Mini8 Multi Loop mejoran la eficiencia de los procesos de semiconductores

    Control mejorado diseñado para cumplir con los desafíos tecnológicos de vanguardia

    El diseño y la construcción de tecnología de punta se basan en respuestas rápidas y confiables de los proveedores de equipos para ayudar a satisfacer las demandas de los desarrollos de próxima generación. Los fabricantes de máquinas necesitan dispositivos compactos para satisfacer las necesidades de las máquinas más pequeñas, y limitar el acceso a IP (propiedad intelectual) valiosa es un factor importante para proteger recetas de procesos especializados. Durante el procesamiento, se requiere una medición precisa de la temperatura, un control preciso del calentador y una respuesta rápida a las alteraciones de la temperatura para lograr la estabilidad, la uniformidad y la repetibilidad de la temperatura deseadas para un rendimiento constante y de alta calidad y un rendimiento optimizado.

    procesos de semiconductores

    ¿Las alteraciones de temperatura están afectando su proceso?

    Se necesitan mediciones precisas y un control de precisión de acción rápida para compensar los cambios repentinos de temperatura en las cámaras de proceso. El controlador Mini8 Multi Loop ahora está disponible con entradas de termopar mejoradas que ofrecen una precisión CJ mejorada de +/-0,25 °C (0,45 °F). Con hasta 16 lazos de control PID de precisión y comunicación EtherCAT en tiempo real, los controladores Mini8 ofrecen alta estabilidad, control de temperatura repetible de acción rápida, fácilmente integrado en PLC y sistemas más amplios.

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    ¿Busca un control de potencia de acción rápida para su proceso de fabricación de obleas?

    El procesamiento térmico rápido de obleas de silicio semiconductor requiere una respuesta de control rápida para minimizar el impacto de las alteraciones de temperatura. El controlador de potencia compacto monofásico EPack ahora está disponible con comunicación EtherCAT™ para una respuesta de control de acción rápida y conectividad común entre dispositivos. El controlador EPack ofrece a los usuarios finales un control de temperatura preciso y repetible para rendimientos consistentes de alta calidad, así como monitoreo y diagnóstico para mejorar la eficiencia energética y el tiempo de actividad.

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    ¿Es un desafío reducir la huella de las máquinas?

    A medida que los desarrollos en la tecnología de semiconductores permiten componentes más pequeños, los fabricantes de máquinas necesitan dispositivos que ayuden a cumplir con las especificaciones de espacio reducido de la máquina. Los productos de control de potencia y procesos de Eurotherm están diseñados para proporcionar una funcionalidad de vanguardia en un factor de forma compacto. El controlador de lazo múltiple Mini8 proporciona hasta 16 lazos PID de precisión y 32 entradas analógicas para control de calentador multizona en un diseño modular compacto, mientras que el controlador de potencia compacto EPack con medición en tiempo real, E/S y comunicaciones integradas ofrece potencia ajustable de precisión control para aplicaciones de 16 a 125 A y de 100 a 500 V.

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    ¿Cómo puede proteger su valiosa propiedad intelectual?

    Cuando haya desarrollado recetas y configuraciones de control de procesos especiales, es importante proteger su propiedad intelectual para evitar la copia. El controlador Eurotherm Mini8 Multi Loop y los controladores de potencia EPack tienen una 'Opción de seguridad OEM', que permite al especialista en aplicaciones de control limitar el acceso a su información de configuración confidencial, lo que ayuda a proteger su propiedad intelectual.

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    Equipos que sean rápidos y fáciles de instalar y mantener

    El tiempo de ingeniería se puede reducir considerablemente eligiendo dispositivos con métodos de configuración familiares fáciles de usar. Los productos de control discreto de Eurotherm vienen con características que ayudan a la configuración, como la preconfiguración en el punto de pedido, el inicio de código rápido y el software de configuración gratuito iTools para una fácil configuración del control mediante la programación de estilo de bloque de funciones y un editor de cableado gráfico.

    Los controladores Mini8 de integración simplificada proporcionan bloques de funciones para una configuración simplificada de bucles PID, programación de puntos de ajuste, recetas, función de protección IP y más. EPack Power Controller ofrece una variedad de modos de disparo y control configurables por software para adaptarse a una amplia gama de cargas. Una pantalla integrada simplifica la configuración, mientras que los diagnósticos, las notificaciones de alarma y un diseño sin ventilador permiten un mantenimiento más rápido.

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    Dispositivos de control de respuesta rápida y fáciles de conectar

    Los procesos de semiconductores se están estandarizando en el sistema de bus de campo basado en Ethernet de alta velocidad, EtherCAT™ (Ethernet para tecnología de automatización de control), que permite la comunicación en tiempo real de la información del proceso.

    Controladores habilitados para EtherCAT
    El controlador de lazo múltiple Mini8 y el controlador de potencia monofásico EPack son multiprotocolo y están preparados para EtherCat para una integración simplificada en la arquitectura de la máquina. El protocolo de comunicación EtherCAT ofrece una respuesta de control de acción rápida y conectividad común entre dispositivos EtherCAT, que se integran fácilmente en PLC y sistemas más amplios. El uso de dispositivos habilitados para EtherCAT en la red de control proporciona una solución rentable, ya que se puede usar cableado CATx estándar y no se requieren conmutadores de red.

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    Reducción del uso de energía

    Los objetivos de emisiones ambientales y los altos precios de la energía en algunas regiones están impulsando a las empresas a mejorar la eficiencia energética. La elección de productos de control que puedan medir la temperatura con precisión y controlar con precisión en múltiples zonas de calefacción ayuda a minimizar el uso de energía.

    El controlador Mini8 Multi Loop con entradas de termopar mejoradas ofrece una precisión de medición CJ de +/-0,25 °C (0,45 °F). Con 16 lazos de control PID de precisión, una gama de características de control y bloques de funciones patentados por Eurotherm, los controladores Mini8 ofrecen un control de temperatura multizona de alta precisión que ayuda a la optimización de la energía.

    El controlador de potencia EPack ofrece una variedad de modos de encendido para adaptarse a una amplia gama de cargas de calentador. Los modos avanzados de control y disparo permiten la reducción del ruido armónico y la optimización del factor de potencia en la red eléctrica. A su vez, esto ayuda a reducir el uso de energía y los cargos de penalización por factor de potencia impuestos por los proveedores de energía.

     

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    ¿El control deficiente de la temperatura está afectando el rendimiento de las obleas?

    El procesamiento térmico de obleas de silicio necesita un control de temperatura preciso con una respuesta rápida a las alteraciones de temperatura para lograr las propiedades eléctricas deseadas para circuitos integrados de alta calidad. El aumento gradual a múltiples puntos de ajuste de temperatura del proceso sin excederse y alcanzar un estado estable al mismo tiempo para mejorar la uniformidad de la temperatura son claves para lograr rendimientos de alta calidad.

    El controlador PID Mini8 Multi Loop con entradas de termopar mejoradas ofrece una precisión de medición CJ de +/-0,25 °C (0,45 °F). Los algoritmos de control especializados y la comunicación EtherCAT permiten una respuesta rápida a las alteraciones de temperatura con un sobreimpulso mínimo. La estabilidad mejorada de la temperatura ayuda a lograr la uniformidad térmica de las obleas durante el proceso de calentamiento y enfriamiento.

    El controlador de potencia compacto monofásico EPack con comunicación EtherCAT ofrece una respuesta de control precisa en tiempo real, lo que permite la optimización del ciclo de calor para reducir el tiempo de procesamiento. Un lazo de control de potencia integrado compensa la perturbación del ruido en la red eléctrica, mientras que el control de potencia numérico permite la repetibilidad y la estabilidad de la temperatura para obtener rendimientos de alta calidad uniformes.

     

    Mini8 Multi Loop Controller

    Mini8Control PID de precisión de 4-16 lazos con comunicación EtherCAT

    • Las entradas de termopar mejoradas ofrecen una precisión de medición CJ de +/-0,25 °C (0,45 °F)
    • El diseño compacto ayuda a reducir el espacio ocupado por la máquina
    • Bloques de funciones para una configuración simplificada de lazos PID, programación de puntos de ajuste, recetas, función de protección IP y más...
    • Comunicación EtherCAT para una respuesta de control de acción rápida y conectividad común entre dispositivos
    • Opción de seguridad OEM para proteger IP valiosa
    • La respuesta rápida a las alteraciones de temperatura con un sobreimpulso mínimo ayuda a la calidad del producto y la eficiencia energética
    • Supervisión y diagnóstico para mejorar el tiempo de actividad
    • 16 lazos de control PID de precisión ofrecen estabilidad de temperatura, uniformidad y repetibilidad para un rendimiento constante y de alta calidad y un rendimiento optimizado

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    EPack Compact Power Controller

    EPack

    Control de potencia SCR monofásico con comunicación EtherCAT

    • Comunicación EtherCAT para una respuesta de control de acción rápida y conectividad común entre dispositivos
    • El diseño compacto ayuda a reducir el espacio ocupado por la máquina
    • Modos de disparo configurables para adaptarse a una amplia gama de cargas
    • Funciones y estrategias de configuración avanzadas que incluyen matemáticas, bloque de linealización y más...
    • Opción de seguridad OEM para proteger IP valiosa
    • Los modos avanzados de control y disparo permiten la reducción del ruido armónico para optimizar la energía y el factor de potencia
    • Supervisión y diagnóstico para mejorar la eficiencia energética y el tiempo de actividad
    • La precisión de la medición y la precisión del control ofrecen estabilidad, uniformidad y repetibilidad de la temperatura para un rendimiento constante y de alta calidad y un rendimiento optimizado

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    Fuente: Eurotherm

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